注1 ：换算成标准状态（20℃ 1个大气压（101kPa）、相对湿度65％Rh）下的体积流量
注2 ： 请使用不含氯、硫磺、氧等腐蚀成分的干燥气体，不含灰尘及油雾的洁净气体。使用压缩空气时，请使用JIS B 8392-1:2012 等级 1.1.1～1.6.2的清洁空气。来自空压机的压缩空气含有冷凝水（水、氧化油、异物等）。为了保持本产品的功能，请在本产品的一次侧（上游）安装过滤器、空气干燥器（低压力露点10℃以下）及精密过滤器（大油份浓度0.1mg/m3）后使用。（请参阅第72页的推荐回路。）氧气用为型。为了防止火灾，在已经通入氧气以外的流体时，请勿再次通入氧气。
注3 ：精度以本公司的标准流量计为基准，并不表示精度。精度±3%F.S.不包括重复精度、温度特性、压力特性。请根据使用环境、使用条件另行考虑。
注4 ：短期的重复精度。不含经时变化。（详情请确认产品规格书。）
注5 ：实际响应时间根据配管条件的变化而改变。
注6 ： 模拟输出电压输出型的输出阻抗约为1kΩ。连接负荷的阻抗较低时，输出值的误差会变大。请在对连接负荷的阻抗下的误差进行确认的基础上使用。
注7 ：电压输出型与电流输出型的电源电压规格不同，敬请注意。
注8 ：连接DC24V、未连接负荷时的电流。消耗电流因负荷的连接状态而异，敬请注意。
注9 ：本产品的保护回路仅对特定的误连接、负荷的短路有效，并不确保能够应对各种误连接。
注10 ： 本产品对气流引起的热分布变化进行测量。纵向安装时，可能因对流的影响而导致热分布变化、零点偏移。注11 ：配管条件可能会影响精度。为提高测量精度，请设置10倍于配管内径的直管部。 500L/min、1000L/min型号请使用内径9mm以上的配管。如为9mm以下，精度可能会变差。
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