SMC小型2、3通电磁阀

・用于空气、中真空、水。
・主体材质：Al、树脂（PPS）、C37、SUS。
・有带快换管接头（树脂主体）的型号。
・IP65。

※VDW10/20系列于2012年12月停产。
　请选择NewVDW10/20系列。
※VDW30系列于2015年7月停产。
　请选择VX21系列。

・采用体积小、重量轻的树脂主体（PPS）。
・IP65。
・消耗功率：3W（标准）、0.5W（带节电回路）。

・高速响应：ON时 0.45ms、OFF时 0.4ms(±0.05ms)。
・长寿命 50亿次以上。
・高频率 1200Hz。
・薄型 9mm。
・低功耗 4W。

・高頻率动作。
　高速响应7ms以下（VQ20）、20ms以下（VQ30）。
・内置快换管接头，便于配管。
・DIN连接　可对应防尘、防喷流型（IP65）。
・用于工件的吹气、吹扫。
・集装底座型号：VV2Q22，VV2Q32。

・接触液体部分材质
　主体／地盘：PEEK。
　膜片：可选择EPDM，FKM，Kalrez®。
・动作寿命1000万次以上（本公司实验条件下的值）。

・低发尘、禁油、无金属。
・使用流体：空气、水、脱离子水(纯水)、稀释液、洗净液。
・分离构造
　隔离密封垫将使用流体区域与电磁驱动部隔离。
・简单配管。
・防止液体积留。
・不需要调节流量。

・用于精密洗净及洁净室组装。
・全部产品均经过了氦气泄漏检测。
・符合SEMI规格
・采用方便作业的锻造主体。

・低使用压力：1×10^-6Pa(abs)
・泄漏量：内部1.3×10^-9Pa・m³/s、外部1.3×10^-11Pa・m³/s。
・有2种接头和内螺纹可选。
・消耗功率：多削减25％。
・质量：多减小18％　0.5kg→0.41kg。